RF-120系列高頻電源 成模相關機器
          是濺射、刻蝕、CVD、離子鍍等薄膜制備/加工使用的、用于生成等離子體的13.56MHz高頻電源(RF電源)。
          分享:
          MORE VIEW

          RF-12010 RF-12020 RF-12030 RF-12040
          最大輸出功率 750W 1.5kW 3kW 6kW
          輸出接頭 N 型 LS2 型
          輸入電壓 AC 200V ±10V, 三相, 50/60 Hz
          輸入電流 AC 5A AC 8A AC 20A AC 35A
          振蕩方式 他激式晶體振蕩
          振蕩頻率 13.56MHz ±0.005%
          輸出穩(wěn)定度 ±0.5%以下 (最大輸出功率, 對50Ω電阻負載)
          波動 1%以下 (最大輸出功率, 對50Ω電阻負載)
          總諧波失真 - 50dB (最大輸出功率時)
          制冷方式 強制空冷 水冷
          5~7L/分 5~6.5L/分
          外觀尺寸 (mm) Wide 481 481 481 481
          Depth 430 504 504 510
          Hight 149 199 199 349
          重量(kg) 18 25 27 55


          *RF-12040由單元1(149mmH/25kg)和單元2(199mmH/30kg)構成。
          *外觀尺寸不包括突起部分(背面的風扇等)。RF-56000  外觀尺寸 : 105mm(W)×305mm(D)×145mm(H)

          產(chǎn)品系列
          Copyright ? 蘇州賽非特電子科技有限公司 版權所有 技術支持:網(wǎng)站維護 備案號:蘇ICP備18062909號-1