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電子束光刻裝置
BS/JEBG/EBG 系列電子槍
用于光學薄膜及電極膜等各種薄膜形成的電子束蒸鍍用電子槍/電源。
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JST系列電子槍/電源
和偏轉(zhuǎn)型電子槍結(jié)合使用，用作電子束蒸鍍的高壓電源。
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JEBG系列大功率電子槍/電源
JEBG系列大功率電子槍是在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源，能在不斷輸送中的寬幅塑料和大面積玻璃基板上高速率地連續(xù)鍍膜，此外在電子束熔煉時，可用于高熔點金屬錠的生產(chǎn)及提純。
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BS-80011BPG產(chǎn)生高密度等離子體的內(nèi)置型等離子體槍
安裝在真空室內(nèi)產(chǎn)生高密度等離子體的等離子體源。利用和真空蒸鍍結(jié)合的等離子體輔助沉積技術(shù)（離子鍍），能提高光學薄膜、保護膜、功能膜等的薄膜特性。另外，還可以用作等離子處理如對清洗基板和表面改性也很有效。
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BS-80020CPPS等離子體源
BS-80020CPPS是用于輔助低溫（100℃以下等）下塑料基板和膠片成膜的等離子體源。
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RF-120系列高頻電源
是濺射、刻蝕、CVD、離子鍍等薄膜制備/加工使用的、用于生成等離子體的13.56MHz高頻電源（RF電源）。
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RF-340 系列匹配網(wǎng)絡(luò)自動整合裝置
和產(chǎn)生等離子體的13.56MHz高頻電源組合，與負載進行匹配的自動調(diào)整裝置(匹配箱 + 控制器) 。
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BS-04 系列 旋轉(zhuǎn)式傳感器
晶振膜厚控制儀的傳感器，可裝載6個或12個晶振片 。
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TP 系列 高頻感應(yīng)等離子體發(fā)生器
通過高頻感應(yīng)加熱產(chǎn)生大約1萬度的熱等離子體，經(jīng)過物理/化學反應(yīng)過程，能合成納米顆粒及厚膜(鍍膜)。
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