NEW 簡單 SEM
只需選擇目標視野
“簡單 SEM”支持日常工作
樣品:電子元件
加速電壓:15 kV,放大倍數:×50(上部) ×1,000(下部),信號: BE

樣品交換導航
從樣品交換引導至自動觀察 安全簡單!
1. 按照導航指南設置樣品

測量樣品高度
2. 準備抽真空觀察

*1 樣品臺導航系統(tǒng)(SNS)是選配件
*2 大區(qū)域樣品臺導航系統(tǒng)(SNSLS)是選配件
*3 樣品室相機(CS)是選配件
3. 自動開始觀察
真空完成后自動成像

Zeromag
輕松實現(xiàn)光學圖像與SEM圖像之間的無縫轉換
Zeromag 功能簡化了導航,提供從光學圖像到 SEM 圖像的無縫過渡。
SEM、光學圖像和樣品臺示意圖全部鏈接在一起,以獲得分析位置的全局視圖。

樣品:菊石化石 加速電壓:7kV 信號:BE
實時分析/實時引導圖*2
1. SEM觀察的同時掌握該區(qū)域的元素組成
實時分析是一項在圖像觀察期間實時顯示 EDS 光譜或元素圖的功能。此功能支持搜索目標元素并提供警示。

2. 簡單分析
最多點擊3次即可開始EDS分析

多種高級選項
1. NEW 低真空混合二次電子探測器(LHSED)*
該新型探測器可以收集電子和光子信號,并提供具有高信噪比和增強形貌信息的圖像

2. NEW 實時3D*
新多向分割BE探測器*獲得的圖像可以顯示為實時3D圖像。
即使樣品具有細微的表面起伏,實時3D也可以直觀的將其清晰的表現(xiàn)出來,并獲取其深度信息。

樣品:螺釘 加速電壓:15kV 放大倍數:x100 信號:BE
3. 蒙太奇
蒙太奇功能可以自動獲取多個小視野的圖像并將這些圖像拼接成一張更大視野的圖像。

樣品:菊石化石
加速電壓:15kV 放大倍數:x150 信號:BE 視野數:13 x 13
4. 顯示信號深度
此功能實時顯示被測樣品的分析深度(近似數值),對元素分析非常有用。

JSM-IT510系列有下面4種配置
| BU(基本單元) | 基本類型, 高真空條件下觀察 |
| A(分析型) | 分析型,標配EDS能譜 |
| LV(低真空型) | 低真空型,適用于高、低真空操作,配置BED |
| LA(低真空分析型) | 低真空分析型,適用于高、低真空操作,配置BED和EDS |
SEM規(guī)格
| 分辨率 |
高真空模式:3.0nm(30kV),15.0nm(1.0kV);低真空模式:4.0nm(30kV、BED) |
| 放大倍數 | x5 至 x300,000 |
| 電子槍 | 鎢燈絲,全自動電子槍調準 |
| 加速電壓 | 0.3kV~ 30kV |
| LV壓力調節(jié) | 10~650Pa |
| 物鏡光闌 | 4檔,帶XY微調功能 |
| 自動功能 |
燈絲飽和點調整、電子槍合軸調整、電子束對中調整、聚焦/散光/亮度/襯度調整 |
| 最大樣品尺寸 | 200mm直徑 x 75mm高 |
| 樣品臺 | 大型全對中樣品臺 X: 125mm Y:100mm Z:80mm 傾斜:-10~90o 旋轉:360o |
| 圖像模式 | 二次電子像、REF像、成分像、形貌像、陰影像 |
| 圖像尺寸 |
640 x 640、1280 x 960、 2560 x 1920、 5120 x 3840 |
| 照片輔助功能 | 蒙太奇、簡單SEM、Zeromag、實時3D |
| 操作支持功能 | 菜單(標準菜單/自定義菜單),測量、樣品交換導航、信號深度功能、3D測量* |
| 操作系統(tǒng) | Win10 64位 |
| 顯示器 |
23.8英寸觸控面板 |
| 語言切換 | 日語、英語、中文(可在用戶界面上操作) |
| 真空系統(tǒng) | 全自動、TMP、RP |
主要可選項
1. 背散射電子探測器BED
2. 低真空混合二次電子探測器LHSED
3. 低真空二次電子檢測器LVSED
4. 能譜儀EDS
5. 波譜儀WDS
6. 電子背散射衍射圖樣EBSD
7. 真空預抽室LLC
8. 樣品臺導航系統(tǒng)SNS
9. 大區(qū)域樣品臺導航系統(tǒng)SNSLS
10. 樣品室相機CS
11. 操作面板OP2
12. LaB6電子槍
13. 3D分析軟件SVM