日常使用的SEM,好用!
隨著技術的不斷創(chuàng)新,觀察的樣品也越來越小,微小樣品的測定已經(jīng)常態(tài)化。 基于此,浸沒式熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡InTouchScope?系列 JSM-IT700HR誕生了。
該設備最高分辨率1nm、最大探針電流300nA(之前的15倍),可提供豐富的觀測和分析信息,用戶界面操作簡單、設計緊湊、配備大樣品室。
■ 視頻介紹
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■ Zeromag & Autofunctions
放大光學圖像,無縫過渡到SEM圖像
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Zeromag具有將樣品臺圖像、光學像和SEM像聯(lián)動的功能,樣品臺上有多個樣品和觀察特定區(qū)域時,很容易搜尋視野。
※若顯示光學像,需要選件樣品臺導航系統(tǒng)SNS
■ Integrated EDS & Live Analysis
一體化EDS和實時分析
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SEM操作界面上有EDS分析操作,觀察分析無障礙。Live Analysis具有實時顯示特征X線譜圖功能。
■ SMILE VIEW? Lab
快速生成數(shù)據(jù)報告
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JEOL獨有的數(shù)據(jù)管理工具。 光學像、SEM像、EDS分析結果一并保存。報告書一鍵生成。
也可以離線解析※1。
※1 需要離線分析軟件 ※2 需要安裝Microsoft?Office
■ 信號深度顯示
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在操作導航GUI里增加了【信號深度顯示】功能,實時了解在測樣品的分析深度(參考),有效用于元素分析中。
■ 自動電子束對中 (ABA)
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電子束的軸偏離時,自動調(diào)整對中功能
■ 用蒙太奇功能進行廣域觀察與分析


蒙太奇結果 6x6(左:背散射電子像、右:Cu元素map像 )
樣品:黃銅螺釘?shù)钠矫婵涛g橫截面*、 加速電壓:20 kV、低真空模式 (20 Pa)、取像:6.4 mm × 4.8 mm
*機械研磨后、用IB-19530CP進行平面刻蝕加工
蒙太奇就是一種拼接功能,能夠?qū)V域內(nèi)采集到的所有圖像拼接成一個高清圖像。此功能對于獲取大面積詳細信息非常有用。
| 分辨率 |
高真空模式:1.0 nm (20 kV) 3.0 nm (1.0 kV),分析時:3.0 nm (15 kV 入射電流 3 nA), 低真空模式:1.8 nm (15 kV BED) |
| 放大倍率 | ×5 ~ ×600,000 |
| 電子槍 |
浸沒式熱場發(fā)射電子槍 |
| 加速電壓 |
0.5 kV ~ 30 kV |
| 入射電流 | 數(shù)pA ~ 300 nA |
| 低真空范圍 |
10 Pa ~ 150 Pa |
| 最大樣品尺寸 |
200 mm直徑×75 mm高、200 mm直徑×80 mm高 ※1、32 mm直徑×90 mm高 ※2 |
| 樣品臺 | 全對中,X:125 mm Y:100 mm Z:80 mm 傾斜:-10 ~ 90° 旋轉:360° |
| OS、顯示器 | Microsoft? Windows?10 64bit, 23.8”觸摸型 |
| 真空系統(tǒng) | 全自動TMP:1臺 SIP:2臺 RP:1臺 |
■ 選配件
1. 低真空二次電子檢測器 (LVSED)
2. 能譜儀 (EDS)
3. 波譜儀 (WDS)
4. 電子背散射衍射檢測器 (EBSD)
5. 氣鎖室 (LLC)
6. 樣品臺導航系統(tǒng) (SNS)
7. 操作面板
8. 3D測長軟件
9. 操作臺
10. UPS
11. 空壓機