電子束蒸鍍過(guò)程中，照射到蒸鍍材料的電子束的一部分成為反射電子（后方散亂電子）被放射出來(lái)，到達(dá)基板后會(huì)對(duì)基板造成傷害，并且與基板溫度上升和膜的附著性降低有一定的關(guān)聯(lián)。反射電子捕集器是一款與電子槍組合以后可以有效減少反射至基板的反射電子量的設(shè)備，也可以用于對(duì)既有蒸鍍?cè)O(shè)備的后期改裝。
減少反射電子，會(huì)有以下的功效。
?可以有效抑制基板溫度的上升。適用于在抗腐蝕區(qū)域上進(jìn)行蒸鍍的脫膜工序。
?適用于容易受到反射電子傷害的基板和薄膜鍍膜。
?可以有效提高附著性
反射電子的特征和影響
反射電子的特征
1. 所附帶的能量基本與入射能量相同
2. （平均）原子序數(shù)越大放出比也越大
3. 放出角度受到入射電子束角度極大的影響
反射電子的影響
降低入射的反射電子
抑制反射電子的數(shù)據(jù)
電子束照射（加速電壓 -6 kV，Emission電流 100mA）材料鎢，通過(guò)測(cè)量基板傘架的電流來(lái)測(cè)定反射電子的量.
【測(cè)定條件】
加速電壓：6kV，入射電流：100mA， 照射材料：鎢， 真空室直徑：1300mm，T-S間距：1100mm
反射電子捕集器的效果 - 抑制基板溫度上升
電子束蒸鍍時(shí)抗蝕部分出現(xiàn)變形，主要原因是由于反射電子射入造成的溫度上升。
反射電子捕集器可以捕獲反射電子，可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的脫膜蒸鍍。最適合MEMS等電極膜的蒸鍍。
Ta2O5鍍膜時(shí)的基板溫度測(cè)定結(jié)果
反射電子捕集器的效果 -提升附著性
可以抑制反射電子入射造成的基板表面?zhèn)?，提升膜的附著力?/p>
在PMMA基板上進(jìn)行鋁蒸鍍和防反射膜鍍膜的結(jié)果，通過(guò)膠帶剝離實(shí)驗(yàn)確認(rèn)了良好的附著性.
適用電子槍
?BS-60070DEBS
?BS-60060DEBS/BS-60070DEBS 270°偏轉(zhuǎn)型電子槍
?BS-60050EBS
?BS-60040VGN
?BS-60030DGN
※BS-60211DEM 〉反射電子捕集器一體型電子槍
