這是一款擁有更高性能，操作更便捷的電源。

主要的特點請參照下文。

1. 提升良品率

?標配XY掃描，環(huán)形掃描，線性掃描功能

?更加容易調整溶跡，通過優(yōu)化溶跡實現了蒸發(fā)分布的重復性得到了提升。

2. 減少異常放電·飛濺

?提高加速電壓的響應性能以及通過放電抑制回路來實現對高速放電抑制的控制，從而大幅改善因電子槍放電造成電子束瞬間移動而產生的坩堝外圍附著物蒸發(fā)和蒸鍍材料飛濺的現象。

3. 鍍膜工序管理更加簡便

?電子槍的各種詳細設定值都通過數字的形式進行顯示和管理，更容易把握電子槍的狀態(tài)并進行管理。

?不需要額外的檢測器就可以確認電子槍的狀態(tài)，使得遠程提供技術支持和解決使用問題成為可能，有效降低時間成本。

?通過使用標配的放電次數測算功能，可以掌握放電的發(fā)生頻率以及次數的規(guī)律，可以幫助使用者掌握真空室內的污染狀況和電子槍的狀態(tài)。

4. 節(jié)能·精簡

?更高效的節(jié)能電源（消耗電力節(jié)省約10%）。

?更加精簡的設計。

5. JST-F電源可以直接更換

?通過安裝信號轉換器，在不改造原有蒸鍍設備的控制系統(tǒng)的狀態(tài)下將電源升級成ICE電源。

特點1    提升良品率

BS-720xxICE電源電源標配了XY掃描，環(huán)形掃描，線性掃描，3種掃描模式。

各種模式通過調整掃描頻率，電子束停留時間，從而實現改善蒸鍍材料溶跡的目的。由此可以得到良好的膜厚分布，提升良品率。

［驗證實驗：不同掃描模式下的膜厚分布］

環(huán)形掃描模式下，即使深挖蒸鍍材料時，也可以實現穩(wěn)定的膜厚分布。

以下條件進行實驗，對ZrO2淺挖和深挖時的光學特性進行測定。

?φ1300 mm真空室。T-S距離1100 mm?；灏惭b在基板傘架的最外圍。

? ZrO2原料在不更換的前提下，同一份原料每次λ/4，進行了3輪蒸鍍。

?使用環(huán)形掃描，XY掃描，分別進行實驗

使用一份ZrO2原料，蒸鍍λ/4膜，1～3輪的光譜特性重合的圖表。

XY掃描模式時，第一輪（淺挖時）與第三輪（深挖時），基板傘架最外圍的光學特性出現偏差。

環(huán)形掃描模式時，基板傘架最外圍的光學特性一致。

ACR (Advanced Circular mode）

原有的CIRCULAR掃描上添加了XLINE掃描的停留時間設定，而產生的掃描模式。

可以對半徑方向上的停留時間進行更加細微的設定。

Advanced Circular mode(ACR)的運行規(guī)格

半徑方向上的停留時間并非通過數字公式，而是與原有XLINE模式一樣采用方塊設定方式，來實現半徑方向強弱的自由設定。

半徑方向上的停留時間并非通過數字公式，而是與原有XLINE模式一樣采用方塊設定方式，來實現半徑方向強弱的自由設定。

〈設定方法〉

所有為了環(huán)形硅使用而標配的XLINE模式的波形生成方式都可以適用于Circle scan模式。半徑方向可以在20等分的范圍內詳細設置停留時間。

特點2    減少異常放電·飛濺

BS-720xxICE電源標配有3段式放電抑制功能。

放電抑制功能，能在電荷積聚時，將加速電壓降低到0V，電荷密度下降后重新恢復加速電壓。

BS-720xxICE電源采用了開關模式電源，加速電壓的恢復時間實現了以微秒為單位的高速化。

放電抑制功能啟動時，加速電壓切斷/恢復的過程中，電子束也會產生向坩堝外移動/恢復的現象。

加速電壓恢復時間越長的電源，電子束照射坩堝以外區(qū)域的時間也會相應變長，從而造成坩堝外的附著物被加熱蒸發(fā)，成為膜中混入異物的原因。

BS-720xxICE電源的加速電壓恢復時間非常的短。

?放電抑制功能即使啟動，也不會加熱蒸發(fā)坩堝外的附著物。

?放電抑制功能即使啟動，坩堝內的蒸鍍材料的表面溫度變化也非常小，可以保持穩(wěn)定。

由于有以上2個特點，所以可以有效減少膜中異物的混入。

［驗證實驗：加速電壓恢復時間的影響］

通過實驗驗證，非常短的加速電壓回復時間的效果。

在坩堝外放置實驗片（在低氧狀態(tài)下在可以通過顏色區(qū)分的Cu板上蒸鍍TiOX），在電子束照射到坩堝的狀態(tài)下，故意提升壓力進而造成頻繁的異常放電。

原有舊型號電源，加速電壓的恢復時間過長，電子束照射實驗片的時間也更長，TiOx被蒸發(fā)，下方的Cu顯現出來。

與此相比，BS-720xxICE電源的實驗片還是保持黑色的狀態(tài)。

加速電壓恢復的時間越短，實驗片被電子束照射的時間個越短，實驗片表面溫度無法上升，TiOx也就無法蒸發(fā)。

良品率比較

在實際使用用戶處，使用JST-10電源與BS-72050ICE電源對UV-IR濾膜的生產進行量產規(guī)模的良品率比較。使用BS-72050ICE電源時，通過異常放電發(fā)生時的高速恢復性能和掃描調整功能實現了溶跡的改善，與使用JST-10F電源相比良品率得到了改善。

特點3    鍍膜工序的管理更便捷

BS-72xxICE電源沒有配備舊式操作盤。

轉而配備了功能更加豐富的遙控器。電源的各種設定都可以通過遙控器來完成。

由于各種參數都可以通過數值來進行設定·管理，所以使用多臺電源時可以實現完全同樣的設定，可以有效防止不同設備間出現差異

此外當發(fā)生設備故障以及需要技術支援時不但可以大幅度提升對應的速度，而且由于采用數值來進行管理，所以萬一遇到特殊情況，需要恢復設定時也會更便捷。

設定的參數可以設置密碼，以此區(qū)分操作員和管理員并實現有效的參數管理。

進行設定時

將遙控器調整到設定模式，然后輸出數字進行設定。旋轉［Emission電流控制旋鈕］，從列表中選擇項目，進行參數數值的設定

手動模式進行蒸鍍時

可以通過遙控器上的[ACC] [FIL]ON/OFF按鍵，對ACC/FIL的ON/OFF進行操作。

[液晶顯示器]上能通過數值來表示光斑位置，掃描，Emission電流的值。

由于實現了Emission電流的數值顯示，所以需要重復之前的蒸鍍設定時，只需要調整到同樣的數值，就可以實現極高的重復性。

BS-720xxICE電源搭載了異常放電監(jiān)測功能。

可以通過遙控器的畫面和外部輸出信號來確認異常放電發(fā)生的次數。通過掌握異常放電的頻率和次數，從而對真空室內的污染狀態(tài)和電子槍的狀態(tài)進行監(jiān)控，進而有效提高鍍膜工序的管理效率。

特點4    節(jié)能·精簡

更加節(jié)能

BS-720xxICE電源尺寸比JST-電源更小，設計更加精簡。

特點5    JST-F電源可以直接更換

BS-64330CNV信號轉換器是由JST-F電源更新升級成BS-720xxICE電源時使用。

安裝于蒸鍍設備與BS-720xxICE電源之間。

蒸鍍設備一側的控制系統(tǒng)不需要改造，通過信號轉換器將外部信號轉為BS-720xxICE電源用信號。

※BS-64330CNV信號轉換器使用時需要的線材，請參照「規(guī)格/配件」

其他的特點： 輸入電壓范圍寬

BS-720xxICE電源的輸入電壓規(guī)格為，更加寬180 ~ 242Ｖ電壓范圍。

一般情況下，在輸入電壓220V標準的地區(qū)，超過設備設計規(guī)格的輸入電壓變動會有造成電源過載的危險。

甚至電子束照射中出現輸入電壓變動會造成，電子束位置偏離以及電子束特性惡化的不良反應，BS-720xxICE電源在輸入電壓出現變動時，幾乎不會對溶跡產生影響。