軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度Ｘ射線CCD相機，實現(xiàn)了極高的能量分辨率。
和EDS一樣可以并行檢測，并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準)的極高能量分辨率進行分析，超過了WDS的能量分辨率。
系統(tǒng)簡介
最新開發(fā)設計的分光系統(tǒng)，不需移動衍射光柵或檢測器（CCD）就能同時獲取不同能量的譜圖。而且由于能量分辨率很高，還可以采集狀態(tài)分析分佈圖
SXES、WDS、EDS的比較
各種分光方法中氮化鈦樣品的譜圖
即使在WDS分析中氮化鈦的譜峰也發(fā)生重疊，需要采取去卷積的數學方法處理。如下圖所示，SXES具有很高的能量分辨率。
比較表
| 特征 | SXES | EPMA(WDS) | EDS |
| 分辨率 | 0.3 eV (費米邊處 Al-L) |
8 eV（FWHM@Fe-K） | 120-130 eV （FWHM@Mn-K） |
| 化學結合狀態(tài)分析 | 可以 | 可以(主要是輕元素) | 不可以 |
| 并行檢測 | 可以 | 不可以 (但分光譜儀臺數范圍即可) |
可以 |
| 分光晶體和檢測器 | 衍射光柵＋CCD | 分光晶體＋正比計數管 | SDD |
| 檢測器冷卻 | 珀爾帖冷卻 | 不需要 | 珀爾帖冷卻 |
| 檢測限(以B作為參考值) | 20ppm | 100ppm | 5000ppm |
鋰離子二次電池（LIB）分析實例
能觀察到LIB的充電量
充滿電后Li-K樣品的譜圖
說明: 由于理論上的原因，氧化鋰的檢測很困難
輕元素的測試實例
SXES測試碳素化合物的實例
可以測試金剛石、石墨、聚合物的不同。
各種氮素化合物的測試實例
氮素也可以根據波形分析化學結合狀態(tài)。 硝酸鹽和氮化物的波形完全不同，還能觀察到易受電子束損傷的銨鹽的獨特波形。
產品規(guī)格
能量分辨率0.3eV（Al-L 光譜圖73eV處測試）
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)50-170eV
獲取能量范圍：衍射光柵JS50XL的能區(qū)70-210eV
分光譜儀艙安裝位置：
EPMA的WDS接口：NO.2接口（正面右側）
FE-SEM的WDS接口（正面左后側）
分光譜儀尺寸 W 168mm×D 348mm ×H 683mm
* 從接口包括CCD的距離
分光譜儀重量 25kg
適用機型
EPMA ： JXA-8530F, JXA-8230, JXA-8500F, JXA-8200
SEM ： JSM-7800F, JSM-7800 Prime, JSM-7100F
