日本電子株式會(huì)社（代表取締役社長兼COO 大井 泉）宣布新型場發(fā)射掃描電子顯微鏡 JSM-IT800 于2020年5月開始全球銷售。

開發(fā)背景

掃描電子顯微鏡廣泛用于納米技術(shù)、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷、醫(yī)學(xué)、生物學(xué)等各種領(lǐng)域，從基礎(chǔ)研究到工廠的品質(zhì)管理等越來越多的用途在擴(kuò)展。設(shè)備具有高清晰圖像的數(shù)據(jù)采集和簡便的元素分析的需求很高。

新開發(fā)的 JSM-IT800 具備高分辨觀察和高速元素面分析，能夠滿足客戶的各種需求。該裝置配備浸沒式肖特基場發(fā)射電子槍、新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng) Neo Engine、一體化 EDS、易用的操作導(dǎo)航「SEM Center」及可置換的物鏡模塊。

物鏡有混合物鏡（HL version）和超級(jí)混合物鏡（SHL version）。SHL 物鏡標(biāo)配高位檢測(cè)器 UHD，能采集到高 S/N的圖像，很容易進(jìn)行觀察。還配備背散射電子檢測(cè)器，閃爍體背散射電子檢測(cè)器 SBED 和多用途背散射電子檢測(cè)器 VBED。SBED 檢測(cè)器響應(yīng)性好，適合低加速電壓下材料襯度像的采集；VBED 適合 3D、凹凸及材料襯度像的采集。

主要特點(diǎn)

1.   浸沒式schott-plus場發(fā)射電子槍

電子槍與低像差聚光透鏡結(jié)合實(shí)現(xiàn)了高亮度。即使低加速電壓下也能獲得充足的入射電流(100nA@5kv),不需要切換物鏡就能進(jìn)行高分辨觀察、高速元素面分析、EBSD分析、軟X射線分析。

2.  Neo Engine（New Electron Optical Engine）

配備本公司電子光學(xué)技術(shù)精華的新一代電子光學(xué)控制系統(tǒng)。即使條件變更時(shí)也可以進(jìn)行穩(wěn)定的觀察。另外，自動(dòng)功能等的易用性也大幅度提高了。

3.  SEM Center / EDS一體化

操作導(dǎo)航“SEM Center”與本公司生產(chǎn)的EDS進(jìn)行了全面集成，更易于操作。此外，還配備了幫助初學(xué)者進(jìn)行電鏡操作的小型導(dǎo)航系統(tǒng)(可選)，以及便于實(shí)時(shí)圖像觀察的 Live - AI (Live Image Visual Enhancer-AI)過濾器(可選)。

4.  HL（Hybrid Lens）和 SHL（Super Hybrid Lens）

以電磁場重疊型物鏡為基礎(chǔ)設(shè)定了2種物鏡，可以按客戶的需求選擇。這樣磁性材料、絕緣材料等各種樣品都能觀察和分析。

5.  高位檢測(cè)器 UHD （Upper Hybrid Detector）

SHL物鏡里標(biāo)配高位檢測(cè)器，大大地提高了樣品產(chǎn)生的電子檢測(cè)率，能夠采集到高S/N的圖像。

6.  新型背散射電子檢測(cè)器

閃爍體背散射電子檢測(cè)器（SBED、選配件）響應(yīng)性能優(yōu)越，適用于低加速電壓下材料襯度像的采集。多用途背散射電子檢測(cè)器（VBED、選配件）適用于3D、凹凸等特色圖像的采集。