JXA-8530F Plus是日本電子第三代場發(fā)射電子探針，一經(jīng)問世就在中國境內(nèi)獲得訂單， 已經(jīng)開始在全球發(fā)售。 JXA-8530F Plus是場發(fā)射電子探針JXA-8530F的升級產(chǎn)品，除了小束斑下的束流、最大束流進一步提高以外，該設(shè)備還在快速高精度元素面分布分析、低含量多晶體分析等方面有很多創(chuàng)新的開發(fā)，多功能樣品室（適合新材料無污染的 樣品傳輸?shù)龋┮彩沁@款設(shè)備的 特點之一。
JXA-8530F升級為JXA-8530F Plus，性能升級的主要內(nèi)容如下：
1、小束斑下更高的束流，空間分辨率進一步提升
2、樣品室采用全新的設(shè)計，適合各種新材料的研究（例如：可將截面拋光儀加工后的樣品在不暴露在大氣的環(huán)境下移至電子探針的樣品室，而且可以對樣品進行適度的氬離子轟擊、清潔處理）
3、通過信號、噪聲的不同處理，得到同樣效果的X射線面分布圖采集時間只是過去的五分之一，這對材料的高靈敏度、多元素、面分布分析提升很大
4、實現(xiàn)了光學(xué)顯微鏡和電子探針的連用， 光學(xué)顯微像的樣品位置能夠被電子探針高精度的讀出（選購件）
