日本電子株式會社 ( 社長 栗原 権右衛(wèi)門 ) 宣布：高通量分析電子顯微鏡JEM-ACE200F開發(fā)了，于2018年12月開始全球銷售。

開發(fā)背景

隨著半導(dǎo)體工業(yè)中器件的進(jìn)一步小型化，使用透射電子顯微鏡(TEM)分析器件的結(jié)構(gòu)、局部應(yīng)變、參雜濃度等已經(jīng)越來越重要。特別是形態(tài)觀察、臨界尺寸測量、元素分析等方面的數(shù)據(jù)采集提出了快速、穩(wěn)定、高分辨率的要求。針對這些需求，日本電子開發(fā)了一種新的TEM—JEM-ACE200F。JEM-ACE200F通過創(chuàng)建實際操作工作流程系統(tǒng)，無需操作人員看管操作，即可實現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動生成。由于集成了高端電鏡JEM-ARM200F和通用型電鏡JEM-F200硬件技術(shù)，JEM-ACE200F在性能和穩(wěn)定性方面表現(xiàn)優(yōu)秀，同時，其外觀方面也進(jìn)行了更為精致的設(shè)計。

主要特點

1. 高通量

  與自動顯微鏡調(diào)諧功能(TEM/STEM)相結(jié)合的快速數(shù)據(jù)采集。

  縮短抽真空時間，從插入樣品桿到開始觀察只需30秒。

2. 友好的用戶界面

  基于日常顯微鏡操作的精密GUI。

  所有的操作都可以通過鼠標(biāo)操作來完成。

3. 流程方案易于編程和更改

  工作流程的方案可以用直觀設(shè)計的工具進(jìn)行編程

  工作流程可以使用各種標(biāo)準(zhǔn)化的編程語言進(jìn)行靈活的編程。

4. 環(huán)保設(shè)計

  采用高度環(huán)保的外殼。遠(yuǎn)程操作。

主要參數(shù)