日本電子株式會(huì)社 （社長(zhǎng) 栗原權(quán)右衛(wèi)門）宣布：超高分辨熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7610F升級(jí)為JSM-7610FPlus,于2017年9月開(kāi)始全球銷售。

開(kāi)發(fā)背景

掃描電子顯微鏡被廣泛應(yīng)用在納米技術(shù)、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷及醫(yī)學(xué)生物學(xué)等各種各樣領(lǐng)域里，而且它的用途越來(lái)越廣。為了對(duì)應(yīng)在高分辨條件下的材料微細(xì)結(jié)構(gòu)解析，提高JSM-7610F的分辨率，對(duì)電子光學(xué)系統(tǒng)做了重新研究。半浸沒(méi)式物鏡和大電流下高穩(wěn)定性的in-lens熱場(chǎng)發(fā)射電子槍的完美組合，使得該設(shè)備兼具超高分辨率觀察和高空間分辨率分析的能力。

主要特點(diǎn)

1.具有高分辨能力的半浸沒(méi)式物鏡（Semi-in-lens）

半浸沒(méi)式物鏡能將電子束收縮的很細(xì)，即使在低加速電壓下也能實(shí)現(xiàn)高分辨。

2.采用GENTLEBEAM?模式，低加速電壓下的最表面觀察

GENTLEBEAM?模式（GB mode）是通過(guò)給樣品加以偏壓使得電子束在到達(dá)樣品前減速的功能來(lái)實(shí)現(xiàn)低加速電壓下的有效觀察和分析。

3.r-filter信號(hào)選擇

通過(guò)r-filter選擇樣品上產(chǎn)生的二次電子和背散射電子信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)。

4.LABE探頭（可選件）檢測(cè)低角度背散射電子像

LABE（Low Angle BE）探頭檢測(cè)低角度的背散射電子，在低加速電壓下能觀 察樣品表面的微細(xì)的凹凸信息，在高加速電壓下能觀察樣品的組成信息.

5.High Power Optics高能光學(xué)系統(tǒng)

大電流下高穩(wěn)定性的in-lens熱場(chǎng)發(fā)射電子槍和全電流范圍內(nèi)自動(dòng)優(yōu)化束徑的ACL的完美組合，能夠進(jìn)行穩(wěn)定的觀察和分析.

6.多種附件

EDS（能譜）、WDS（波譜）、CL（陰極發(fā)光）

主要技術(shù)規(guī)格