日本電子株式會(huì)社(執(zhí)行董事兼總裁栗原權(quán)右衛(wèi)門(mén))宣布：新型FIB/SEM 雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F從2017年1月開(kāi)始隆重上市。

產(chǎn)品開(kāi)發(fā)背景:

隨著先進(jìn)材料構(gòu)造的微細(xì)化和制造過(guò)程的復(fù)雜化，形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評(píng)估技術(shù)也對(duì)分辨率和精度有了更高的要求。為了滿足這些需求，JEOL開(kāi)發(fā)了新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F。

SEM鏡筒中采用了超級(jí)混合圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測(cè)器系統(tǒng)，在1kV低加速電壓下,實(shí)現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,與最大能獲得300nA探針電流的浸沒(méi)式肖特基電子槍組合，可以進(jìn)行高分辨率觀察和高速分析。FIB鏡筒利用最大探針電流為90nA的高電流密度的Ga離子束，對(duì)樣品進(jìn)行高速加工。

利用FIB高速截面加工后的高分辨SEM觀察和使用EDS(能譜儀)及EBSD(晶體取向分析系統(tǒng))等各種分析裝置，可以進(jìn)行高速分析。此外還標(biāo)配了三維分析功能，能以固定的間隔自動(dòng)進(jìn)行截面加工并同時(shí)獲取截面的SEM圖像。

主要特征

1. 高分辨率SEM觀察

通過(guò)采用電磁場(chǎng)疊加的圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測(cè)器，在1kV低加速電壓下實(shí)現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率。

2. 高速分析

浸沒(méi)式肖特基電子槍與最佳光闌角控制鏡組合，大探針電流分析時(shí)也能保持高分辨率。

3. 高速加工

FIB鏡筒利用高電流密度的Ga離子束,對(duì)樣品進(jìn)行高速加工。

4. 加強(qiáng)了檢測(cè)系統(tǒng)

利用新開(kāi)發(fā)的同步檢測(cè)系統(tǒng)（包括in-lens檢測(cè)器），最多能實(shí)時(shí)觀察4個(gè)檢測(cè)器的圖像。

5. 擴(kuò)展性 

可支持EDS、EBSD、冷凍傳輸系統(tǒng)、冷凍樣品臺(tái)、空氣隔離傳輸系統(tǒng)（Air-isolation transfer vessel）等豐富的選配附件。

6. 三維觀察、三維分析

高分辨率SEM和各種分析單元（選配項(xiàng)）組合，能對(duì)圖像和分析數(shù)據(jù)進(jìn)行三維觀察。

7. 樣品臺(tái)聯(lián)動(dòng)功能 

利用樣品提取系統(tǒng)（Sample Pick-up System，選配項(xiàng)）和樣品臺(tái)聯(lián)動(dòng)功能，能簡(jiǎn)單地提取TEM樣品。

8. 圖像疊加（picture overlay ）系統(tǒng)

通過(guò)和附帶光學(xué)顯微鏡的樣品提取系統(tǒng)組合，將光鏡圖像疊加在FIB圖像上，能容易地定出FIB的加工位置。