日本電子株式會(huì)社 （社長(zhǎng) 栗原 権右衛(wèi)門）宣布：新型熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡JSM-7900F于2017年5月開(kāi)始全球銷售。

開(kāi)發(fā)背景

納米技術(shù)、金屬、半導(dǎo)體、陶瓷及醫(yī)學(xué)生物學(xué)等各種各樣領(lǐng)域里，掃描電子顯微鏡被活用，而且它的用途越來(lái)越廣。隨著高端材料構(gòu)造的微細(xì)化，高分辨下觀察變得必要，同時(shí)更簡(jiǎn)單地獲取高效觀察和分析數(shù)據(jù)的要求也越來(lái)越高。為了對(duì)應(yīng)這些需要，JSM-7900F不再依賴操作的技能和經(jīng)驗(yàn)，就能發(fā)揮很高的性能，實(shí)現(xiàn)了超高分辨觀察和簡(jiǎn)單操作。

主要特征

1．In-lens schottky plus場(chǎng)發(fā)射電子槍

由于電子槍與低畸變聚光透鏡結(jié)合的改善，實(shí)現(xiàn)了高亮度。即使在低加速電壓下也能獲得充分的照射電流進(jìn)行高分辨觀察和高速元素面分析。

2．超級(jí)混合物鏡/SHL (super Hybrid Lens)

配置電磁場(chǎng)重疊型物鏡“超級(jí)混合物鏡”/SHL，從磁性樣品到絕緣材料等所有樣品都能在超高分辨下觀察和分析。

3．新開(kāi)發(fā)的GBSH-S ( GENTLEBEAMTM Super resolution Stage bias mode)

GBSH-S是在低加速電壓下可以高分辨觀察的樣品臺(tái)，能夠?qū)?yīng)各種各樣的樣品桿。以前的特殊樣品桿不再需要。

4．新開(kāi)發(fā)的Neo工具(New Electron Optical Engine)

Neo工具是新開(kāi)發(fā)的電子光學(xué)制御系統(tǒng)。自動(dòng)功能精度大副提高，操作性能得到改善。

5．新功能SMILENAVI

配置了即使是初學(xué)者也能安心使用的操作導(dǎo)航系統(tǒng)，支持學(xué)好SEM基本操作。

6．新的樣品交換方式

采用新設(shè)計(jì)的樣品交換方式。簡(jiǎn)單操作下平穩(wěn)安全地搬送樣品，無(wú)論是初學(xué)者還是熟練工都能快速更換樣品。

主要技術(shù)指標(biāo)