日本電子株式會(huì)社（社長(zhǎng) 栗原 権右衛(wèi)門）宣布：新型原子分辨率分析型電子顯微鏡JEM-ARM200F “NEOARM”開發(fā)了， 于2017年6月開始全球銷售。

開發(fā)背景

現(xiàn)在，配備球差校正器的透射電子顯微鏡幾乎已成為高端研究場(chǎng)所的標(biāo)準(zhǔn)配置，本公司已經(jīng)向全世界輸送了近200臺(tái)球差校正透射電鏡。

近年來(lái)，含輕元素和不耐電子束輻照等材料的高分辨觀察需求加速，且隨著球差校正電鏡的普及，操作更加簡(jiǎn)單的呼聲越來(lái)越強(qiáng)烈。本社針對(duì)這些要求，研發(fā)了新型的“NEOARM”。

“NEOARM”標(biāo)配日本電子獨(dú)有的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和全新的高階球差校正器（ASCOR）, 從200kV到30kV的加速電壓下，均能實(shí)現(xiàn)原子分辨率觀察與分析。

另外，配備了本社獨(dú)自開發(fā)的像差校正算法，自動(dòng)進(jìn)行高速準(zhǔn)確的像差校正，原子分辨率觀察高效快速。配備了獲得輕元素更高襯度的新型STEM檢測(cè)器和新的成像法（e-ABF法），輕元素觀察更加容易。

新型遠(yuǎn)程操作系統(tǒng)，將主機(jī)和操作桌分開。主機(jī)顏色則采用的是本社新概念的純白色，設(shè)計(jì)精煉。

主要特征

1. 全新高階球差校正器ASCOR (Advanced STEM Corrector)

目前，在五階球差被校正之后，阻礙透射電鏡分辨率進(jìn)一步提高的最大障礙就是五階的六重像散，“NEOARM”上配備的新型球差校正器ASCOR完全能夠校正6重像散。ASCOR和Cold-FEG的完美組合實(shí)現(xiàn)了從高加速電壓到低加速電壓下前所未有的高分辨率。

2. 自動(dòng)像差校正軟件 JEOL COSMO?（Corrector System Module）

JEOL COSMO?采用了全新像差校正算法(SRAM：Segmented Ronchigram Auto-correlation function Matrix)，即能快速精確地校正至5階像差。與采用傳統(tǒng)校正算法的系統(tǒng)相比，JEOL CMSMO?在自動(dòng)化易用性等方面更進(jìn)一步，客戶可以通過(guò)該系統(tǒng)簡(jiǎn)單高效地獲取原子級(jí)別分辨率的數(shù)據(jù)。

3.新ABF (Annular Bright Field) 檢測(cè)器系統(tǒng)

ABF檢測(cè)器已被廣泛地用于輕元素高分辨觀察?！癗EOARM”采用更高襯度的新ABF成像法(e-ABF：enhanced ABF)。可以使輕元素的原子級(jí)觀察更加容易。

4.Perfect sight檢測(cè)器

“NEOARM”的STEM系統(tǒng)標(biāo)配的Perfect sight檢測(cè)器是采用特種閃爍體材料制成。該檢測(cè)器具有極佳的寬電壓適應(yīng)性，在所有配備的加速電壓下都可獲得更高襯度的STEM圖像，并可用于定量STEM的分析研究工作。

5.Viewing Camera系統(tǒng)

Viewing Camera系統(tǒng)是一套由兩個(gè)相機(jī)組成的圖像觀測(cè)系統(tǒng)，用于遠(yuǎn)程操控功能的圖像獲取。這一系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)主機(jī)房和操作間的分離，也使“NEOARM”的外觀更加具有科技感。

主要技術(shù)指標(biāo)