帶有樣品冷卻系統(tǒng)，對容易受熱損傷的樣品也可以進行截面制備的離子切片儀。
①通過液氮制冷，減輕了離子照射時對樣品造成的熱損傷。
②可以用于制備TEM的薄膜樣品和SEM的截面樣品*
③冷卻保持時間長，大大減少了熱損傷。
④在裝有液氮的情況下，也可以交換樣品。
*最大樣品尺寸:2.8mm(長度)×1.0 mm(寬度)×0.1mm(厚度)。
產(chǎn)品規(guī)格
| IB-09060CIS | |||
| 離子加速電壓 | 1 ～ 8kV | ||
| 傾斜角 | 最大±6o(0.1o/步) | ||
| 離子束直徑 | 500μm(FWHM) | ||
| 研磨速率 | 5μm/min(加速電壓:8kV、Si換算) | ||
| 使用氣體 | 氬氣 | ||
| 最大樣品尺寸 | 2.8mm(長度)×1.0 mm(寬度)×0.1mm(厚度) | ||
| 樣品冷卻 | 樣品架冷卻溫度 | -120℃ | |
| 冷卻到達時間 | 1小時 | ||
| 冷卻保持時間 | 8小時 | ||
| 樣品取出時間 | 30分鐘 | ||
| 壓力測試 | 潘寧規(guī) | ||
| 主抽真空系統(tǒng) | 渦輪分子泵 | ||
| CCD相機 | 內(nèi)置 | ||
| 尺寸 重量 | 主機 | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、70kg | |
| 機械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | ||
| 液晶顯示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | ||
安裝條件
| IB-09060CIS | |
| 電源 | 單相100 ～ 120V±10%、50/60Hz、0.5 ～ 0.6kVA |
| 接地線 | 獨立地線(100Ω以下) |
| 氬氣 |
使用壓力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm2) 純度99.9999%以上(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自備) 金屬配管連接口:JISB0203 RC1/8 |
| 室溫 | 20 ～ 25℃ |
| 濕度 | 60% 以下 |
*產(chǎn)品外觀及技術規(guī)格可能未經(jīng)預告而有所變更。
