IB-19520CCP 截面樣品制備裝置 制樣設(shè)備
          IB-19520CCP在加工過(guò)程中利用液氮冷卻,能減輕離子束對(duì)樣品造成的熱損傷。冷卻持續(xù)時(shí)間長(zhǎng)、液氮消耗少的構(gòu)造設(shè)計(jì)。在裝有液氮的情況下,也能將樣品快速冷卻、恢復(fù)到室溫,并且可以拆卸。配有傳送機(jī)構(gòu),在隔離空氣的環(huán)境下能完成從加工到觀察的全過(guò)程。
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          ★ 冷卻的效果  樣品:鍍鋅鋼板

          可提供500μm/h(8KV/2小時(shí)的平均值)的研磨速率。

          Specimen: Galvanized iron steel



          Normal milling (without cooling)

          Accelerating voltage 4kV

          Cooled milling (holder temperature -120℃)

          Accelerating voltage 4kV

          ※ 通常加工(無(wú)冷卻)時(shí),鐵和鋅的接合面上能夠觀察到間隙,而冷卻加工時(shí)則沒(méi)有間隙


          ★ 使用溫度控制系統(tǒng)(選配件)冷卻  樣品:硅晶片接合面



          Normal milling                              Cooling                              Cooling temperature control    

          (without cooling)                    (holder temperature -150℃)      (holder temperature -20℃)

          Accelerating voltage 6kV          Accelerating voltage 6kV           Accelerating voltage 6kV


          ※ 常規(guī)加工由于熱損傷造成粘合劑變形,出現(xiàn)了很大的間隙。 -150 ℃時(shí),冷卻過(guò)度,能觀察到膠粘劑和硅晶片研磨面的接合面上出現(xiàn)了間隙,但通過(guò)溫度控制冷卻則沒(méi)有間隙。


          ★ 合理利用間歇加工、冷卻功能和溫度控制冷卻功能可支持各種樣品的制備



          ★ 進(jìn)程監(jiān)控功能

          截面加工狀態(tài)可通過(guò)CCD相機(jī)實(shí)時(shí)監(jiān)控,倍率還可調(diào)整。


          ★ 防止充放電的噴鍍功能

          備有離子束濺射功能(選配項(xiàng))

          可以噴涂顆粒感良好的薄涂層。

          最適合于象EBSD等需要花樣識(shí)別等情況。


          ★ 平面離子減薄樣品架

          以小角度的離子束低角度照射樣品,達(dá)到清除表面污垢、平滑表面等效果。

          另外也非常適合于選擇性蝕刻。


          ★ 截面樣品制備單元

          安裝在平面離子減薄樣品架上使用。該單元可用于在旋轉(zhuǎn)樣品的同時(shí)進(jìn)行離子束加工。

          可以用來(lái)制備象多孔質(zhì)材料、粉末、纖維等容易出現(xiàn)加工條紋的樣品的截面。

          離子加速電壓 2 ~ 8 kV
          離子束直徑 500 um( FWHM)
          研磨速率 500 um(兩小時(shí)的平均值、8 kV、硅材質(zhì)換算、突出量:100 um)
          樣品架冷卻達(dá)到的溫度 -120 ℃
          樣品冷卻持續(xù)時(shí)間 8小時(shí)以上
          制冷箱容量 約1升
          承載樣品的最大尺寸 11mm(長(zhǎng)) × 8mm(寬)× 3mm(厚)
          樣品臺(tái)移動(dòng)范圍 X軸:±6mm、Y軸:±2.5mm
          固定樣品方法 夾式
          樣品加工擺角 ±30°
          加工觀察用相機(jī)的倍率 約20~100倍(6.5寸顯示器上)
          機(jī)械泵: 150 mm(寬) × 427 mm(長(zhǎng)) × 230 mm(高)、約16 kg
          空氣隔離系統(tǒng) 轉(zhuǎn)移艙
          空氣隔離法 將艙內(nèi)設(shè)定成氬氣氣氛,蓋上轉(zhuǎn)移艙蓋子,將樣品封在艙里。
          操作方法 觸控屏、6.5寸顯示器
          使用氣體 氬氣(用質(zhì)量流量控制器控制流量)
          壓力測(cè)試 潘寧真空計(jì)
          主抽真空系統(tǒng) 渦輪分子泵
          輔助抽真空系統(tǒng) 機(jī)械泵
          尺寸、重量 主機(jī):約670mm (寬) × 720mm(長(zhǎng)) × 530mm(高)、約73kg
          機(jī)械泵:約150 mm (寬) × 430 mm(長(zhǎng)) × 230 mm(高)、約16kg
          選配件 大型旋轉(zhuǎn)樣品架(IB‐11550LSRH)、(IB‐11550LSRH) 
          基座樣品架 (IB‐11560MBSH) 
          大型樣品架(IB-11570LSH)  
          噴碳樣品架(IB-12510CCH)
          電源 單相100~120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA
          接地線 獨(dú)立地線(100 Ω以下)
          氬氣 使用壓力:0.15±0.05 MPa(1.0 ~ 2.0 kg/cm2)
          純度99.9999%以上(氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自備)
          金屬配管連接口:JISB0203 RC1/4
          室溫 15~25 ℃
          濕度 60%以下
          產(chǎn)品系列
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