用于TEM 、STEM 、 SEM 、 EPMA 和 AUGER樣品制備的創(chuàng)新方法
離子切片儀制備薄膜樣品除了需要將樣品切成矩形薄片外，不需要溶劑或化學(xué)試劑及前處理（打磨或凹坑研磨），比傳統(tǒng)制備工具快速、簡(jiǎn)單。低能量、低角度（0°到6°）的氬離子束通過遮光帶照射樣品，大大降低了離子束對(duì)樣品的輻照損壞。即使是柔軟的材料,制備的薄膜質(zhì)量也極好，對(duì)不同成份的樣品甚至含有多孔合成物也都能夠有效制備。
主要特點(diǎn):
. 高質(zhì)量的透射電鏡樣品的前處理
. 快速制備
. 無需復(fù)雜的前處理
. 最小限度的表面損傷
產(chǎn)品規(guī)格
| EM-09100IS | ||
| 離子加速電壓 | 1 ～ 8kV | |
| 傾斜角 | Up to 6°(0.1°/步) | |
| 離子束直徑 | 500μm(FWHM) | |
| Milling rate | 5m/min (加速電壓:8 kV, Si換算) | |
| 使用氣體 | 氬氣 | |
| 最大樣品尺寸 | 2.8mm(長(zhǎng)度)×0.5 mm(寬度)×0.1mm(厚度) | |
| 壓力測(cè)試 | 潘寧規(guī) | |
| 主抽真空系統(tǒng) | 渦輪分子泵 | |
| CCD相機(jī) | 內(nèi)置 | |
| 尺寸 重量 | 主機(jī) | 500mm(W)×600mm(D)×542mm(H)、63kg |
| 機(jī)械泵 | 150mm(W)×427mm(D)×230.5mm(H)、16kg | |
| 液晶顯示器 | 326mm(W)×173mm(D)×380mm(H)、3.7kg | |
安裝條件
| EM-09100IS | |
| 電源 | 單相, AC100 ～ 120V, 50/60Hz, 500 ～ 600VA |
| 接地線 | 獨(dú)立地線(100Ω以下) |
| 氬氣 |
使用壓力: 0.15±0.05MPa(1.0 ～ 2.0kg/cm2) 氬氣流量：約0.2立方厘米 純度: 99.9999%以上 (氬氣、氣瓶及調(diào)壓器由客戶自備) 金屬配管連接口:JISB0203 RC1/8 |
| 室溫 | 20 ～ 25℃(fluctuation: 1°C/hor less變動(dòng)少于1°C/h) |
| 濕度 | 60% 以下 |
*請(qǐng)?zhí)峁┌卜旁O(shè)備的桌子。
*產(chǎn)品外觀及技術(shù)規(guī)格可能未經(jīng)預(yù)告而有所變更。
