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JIB-4700F 雙束加工觀察系統(tǒng)
隨著先進(jìn)材料構(gòu)造的微細(xì)化和制造過程的復(fù)雜化,形貌觀察、元素分析和晶體分析等的評估技術(shù)也對分辨率和精度有了更高的要求。為了滿足這些需求,JEOL推出新一代雙束加工觀察系統(tǒng)JIB-4700F。 該設(shè)備的SEM鏡筒中采用了超級混合圓錐形物鏡、GB模式和in-lens檢測器系統(tǒng),在1kV低加速電壓下,實現(xiàn)了1.6nm的保證分辨率,與最大能獲得300nA探針電流的浸沒式肖特基電子槍組合,可以進(jìn)行高分辨率觀察和高速分析。
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JIB-4000PLUS 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)
JIB-4000PLUS 聚焦離子束加工觀察系統(tǒng)配置了高性能的離子鏡筒(單束FIB裝置)。 被加速的鎵離子束經(jīng)聚焦照射樣品后,能對樣品表面進(jìn)行SIM觀察 、研磨、及碳和鎢等沉積。還可以為TEM制備薄膜樣品,為觀察樣品內(nèi)部制備截面樣品。 該設(shè)備能配置3D觀察功能、自動TEM樣品制備功能,能對應(yīng)多種制樣需求。
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JXA-8530F Plus 場發(fā)射電子探針顯微分析儀
2003年日本電子推出了世界首臺商業(yè)化場發(fā)射電子探針(FE-EPMA),此后被廣泛地應(yīng)用于金屬、材料、地質(zhì)等各個領(lǐng)域,并獲得了極高的贊譽。最新研發(fā)的第三代場發(fā)射電子探針JXA-8530F Plus,電子光學(xué)系統(tǒng)有了很大的改進(jìn),新的軟件能提供更高的通量,并保持著極高的穩(wěn)定性,能實現(xiàn)更廣泛的EPMA應(yīng)用。
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JXA-8230 電子探針顯微分析儀
可以安裝通用性強、使用方便的能譜儀X射線探測器,組合使用WDS和EDS,能提供無縫、舒適的分析環(huán)境。
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軟X射線分析譜儀
軟X射線分析譜儀(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通過組合新開發(fā)的衍射光柵和高靈敏度X射線CCD相機,實現(xiàn)了極高的能量分辨率。和EDS一樣可以并行檢測,并且能以0.3eV(費米邊處Al-L基準(zhǔn))的極高能量分辨率進(jìn)行分析,超過了WDS的能量分辨率。
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JXA-iHP200F 場發(fā)射電子探針顯微分析儀
JXA-iHP200F在保持高局部微量元素分析性能的同時,追求每個人都能簡單快速地使用好儀器。該儀器能更加有效地進(jìn)行觀察分析和操作,是更先進(jìn)的一體化集成FE-EPMA。
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JXA-iSP100 電子探針顯微分析儀
JXA-iSP100在保持高局部微量元素分析性能的同時,追求每個人都能簡單快速地使用好儀器。該儀器能更加有效地進(jìn)行觀察分析和操作,是更先進(jìn)的一體化EPMA。
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IB-19520CCP 截面樣品制備裝置
IB-19520CCP在加工過程中利用液氮冷卻,能減輕離子束對樣品造成的熱損傷。冷卻持續(xù)時間長、液氮消耗少的構(gòu)造設(shè)計。在裝有液氮的情況下,也能將樣品快速冷卻、恢復(fù)到室溫,并且可以拆卸。配有傳送機構(gòu),在隔離空氣的環(huán)境下能完成從加工到觀察的全過程。
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IB-19530CP 截面樣品制備裝置
為了滿足市場多樣化的需求,IB-19530CP截面拋光儀采用多用途樣品臺,通過交換各種功能性樣品座實現(xiàn)了功能的多樣化。
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